KS-41A/B液体颗粒度仪
产品名称：液体颗粒度仪
品牌：日本RION
型号：KS-41A/B（光阻专用）
关键词标签：液体颗粒、颗粒计数、LPC、Rion
简短描述：KS-41A主要应用于测量光刻胶及溶剂中颗粒数量。
品牌：日本RION
型号：KS-41A/B（光阻专用）
关键词标签：液体颗粒、颗粒计数、LPC、Rion
简短描述：KS-41A主要应用于测量光刻胶及溶剂中颗粒数量。
一、简介
光刻胶中颗粒数量需要管控。光刻胶溶液中的颗粒数量直接决定了图案的加工质量和后续器件的良率。液体颗粒度仪作为电子材料开发的基本设备，用于在制造半导体、显示面板过程中保持高清洁度的液体粒子计数器。可检测光阻产品、SOG 等产品中小至0.07um 的颗粒。适应于光刻胶材料开发和来料检测。
二、KS-41A主要技术参数
测试方式：Off-line
测量最小粒径：0.15um（KS-41B为0.1um）
粒径范围：0.15um-0.5um
出厂设定通道:0.15 / 0.2 / 0.3 / 0.5um
可自行扩充至10Channels
液体流速: 10mL / min
光源：镭射二极管（波长 830nm,输出功率:200mW）
可测试粒子浓度：1200 颗/mL（0.15um 的误差值在 5%以内）
