一、简介

珀金埃尔默公司是ICP-MS技术的发明者，也是ICP-MS技术革新的先行者。1983年珀金埃尔默公司研制开发出用于商业的ELAN® 250型ICP-MS。

NexION 5000是业界首款多重四极杆ICP-MS，由四组四极杆组成。其创新设计达到和超过如半导体、生物监测和其他应用领域的痕量和超痕量元素检测要求。NexION 5000性能超越了传统的三重四极杆技术，提供低的背景等效浓度（在高温热等离子字体中，BECs<1 ppt）和出色的检测限，确保了结果的精度和可重现性。NexION 5000 ICP-MS具有：

卓越的干扰消除能力

出色的背景等效浓度(BECs)

无与伦比的基体耐受性

符合SEMI S2/S8法规和安规要求

二、技术特点

l  四组四极杆：

第一组

四极杆离子偏转器（Q0，Quadrupole Ion Deflector）是一个基于离子能量的静电质量分析器，对离子进行动态聚焦和质量筛选，同时把离子偏转90度以实现与中性成分和光子分离，导入下一级四极杆

第二组

为第一个四极杆质量分析器（Q1，Transmission Analyzer Quadrupole），用作质量分析器或将离子引导至四极杆通用池。它包含长预四极杆，可获得更好的高能离子聚焦，从而具有单位质量或更好的质量分辨，最佳分辨率 < 0.3 amu

第三组

为四极杆通用池（Q2，Universal Cell Technology），是市场上唯一由四极杆构成的池技术，具有动态带宽质量调谐能力（从而可以对反应进行有效的控制），标配轴向场技术（从而可以使用任何所需的气体），既可以作为离子聚焦加速的离子通道，又可以作为特定离子的质量选择器，抑制池内副反应的产生，确保所需反应的完全，从而彻底消除干扰。

第四组

为第二个四极杆质量分析器（Q3，Transmission Analyzer Quadrupole），用作质量分析器或将离子引导至检测器。具有单位质量或更好的质量分辨，最佳分辨率 < 0.3 amu

独有电子稀释技术（EDR）扩展动态线性范围至1012，允许在一次运行中，同时分析高低浓度元素，减少重复运行

l  低维护实现长时间运行：

第二代带OmniRig™的三锥接口（TCI）技术与四极杆离子偏转器（QID）相结合，从而实现锥后无需维护，保证仪器长时间运行和出色的稳定性

34 MHz自激式RF发生器提供免故障的客户体验——独有的LumiCoil™ RF工作线圈产生等离子体，它只需空气冷却（无需水冷或气冷），从而无需维护且无需更换

l  通过外部状态指示灯，可轻易得知分析状态，提高了效率

l  Syngistix™软件（v. 3.0或更高版本）将多重四极杆的性能与充满现代感的用户界面整合，实现用户友好的工作流程操作

l  可升级SEMI S2/S8认证（应急按钮），从而符合半导体超净间设施集成要求

三、应用

适用于环境、地质、化学、食品、药品、光刻胶、材料等，金属元素、有机各类形态的分析，低的背景等效浓度（在高温热等离子字体中，BECs<1 ppt）和出色的检测极限。