颗粒及金属离子纯化装置
实验室/中试线用电子化学品颗粒、及金属离子纯化过滤装置，可去除金属离子达到ppb甚至ppt级别。
本模块由除杂质颗粒、金属离子过滤两大部分组成：
（1）金属离子过滤：采用多孔介质结构，通过内部离子交换基团或螯合树脂基团，确保金属污染物与反应部位之间具有充分接触时间，以高效过滤金属离子，过滤后金属离子浓度＜1ppb。
（2）杂质颗粒过滤：高纯度0.05-0.1 μm终端PFA过滤器去除痕量颗粒，采用热融方式接合，避免使用过程中有任何添加物释出。
本模块由除杂质颗粒、金属离子过滤两大部分组成：
（1）金属离子过滤：采用多孔介质结构，通过内部离子交换基团或螯合树脂基团，确保金属污染物与反应部位之间具有充分接触时间，以高效过滤金属离子，过滤后金属离子浓度＜1ppb。
（2）杂质颗粒过滤：高纯度0.05-0.1 μm终端PFA过滤器去除痕量颗粒，采用热融方式接合，避免使用过程中有任何添加物释出。
