一、简介

Filmetrics的薄膜电阻测量设备开发源自于KLA超过45年的薄膜电阻计量技术，并由有着20年台式测量设备开发经验的Filmetrics团队完善了桌面式方块电阻测量产品。

KLA技术包括接触四探针和非接触涡流方法。

二、主要功能

l  技术规格

测量尺寸：2-12寸可选择

对应型号：R50/R50-200/R54-200/R54-300（4PP/EC探头可选）

测量范围： 1mΩ/sq 至 200MΩ/sq（4PP）；

                   1mΩ/sq 至 50Ω/sq（EC）

测量方式：ResMapper软件，电脑程序自动测量

测量的数据：方块电阻/电阻率/薄膜厚度，根据具体应用可以设置不同测量程序。

测量的点数：程序编排任意测量点位置及测量点数量，对应不同客户不同测量要求任意编程测量点位置与数量。

测量的精确度：<0.1% （标准电阻）；

测量重复性：<0.2% （标准片）；

测量速度：>45点/分钟；

测量数据处理：根据需要显示2D，3D数值图，或按要求统计并输出Excel格式文件；

边缘修正：具有边缘修正功能，即片子边缘3mm以内区域都能测量；

探针材料：钨钢与硅片的接触电阻最小，且耐磨。另外每跟针的轴套采用非常耐磨蓝宝石材料，以确保长时间使用后间距的一致性；

可供选择的探头类型：根据测试不同工艺要求有A,F, B,K, M, N等相关型号探头选择。

三、应用

应用于金属镀膜和扩散，离子注入等掺杂工艺监控调试，薄膜电阻率或厚度测量等工序。