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产品名称：晶圆几何参数测试仪品牌：德国E+H Metrology型号：MX60 Series关键词标签：电阻率、晶圆厚度、几何参数、TTV、Bow、Warp、P/N型简短描述： MX60 Series是采用涡流/电容探头测量晶圆电阻率以及厚度、翘曲度等几何特性的手动/半自动晶圆测量系统。
