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产品名称：台阶仪/探针式轮廓仪品牌：KLA型号：Alpha-Step D-600关键词标签：探针式轮廓仪、表面粗糙度、台阶仪简短描述：D-600可以对几纳米到1200µm的2D和3D台阶高度、粗糙度、应力进行测量。
产品名称：薄膜应力仪品牌：FSM型号：128NT/128L/500TC关键词：薄膜应力，Stress，Bow简短描述：FSM 128系列是采用激光对晶圆Bow Height进行扫描，从而监控薄膜应力的量测工具。
产品名称：光学轮廓仪品牌：KLA型号：Zeta-20关键词标签：光学轮廓仪、共聚焦显微镜、粗糙度、白光干涉简短描述：Zeta-20是采用ZDot™技术和Multi-Mode光学系统的非接触式表面轮廓测试系统。
产品名称：白光干涉仪 品牌：KLA-Filmetrics型号：Profilm3D关键词标签：白光干涉仪、光学轮廓仪、粗糙度简短描述：结合垂直扫描干涉 (VSI)和高精确度相移干涉 (PSI) 技术的经济型非接触式光学轮廓仪
