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    产品名称：光罩缺陷检查装置
    品牌：LAZIN
    型号：LODAS–BI8
    关键词标签：光罩缺陷检测、缺陷检测及Review
    简短描述：采用激光扫描技术扫描光罩和晶圆的表面缺陷检测与分类系统

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