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产品名称：台阶仪/探针式轮廓仪品牌：KLA型号：Alpha-Step D-600关键词标签：探针式轮廓仪、表面粗糙度、台阶仪简短描述：D-600可以对几纳米到1200µm的2D和3D台阶高度、粗糙度、应力进行测量。
产品名称：台阶仪/探针式轮廓仪品牌：KLA型号：Tencor P-7 关键词标签：台阶仪、轮廓仪、表面粗糙度、应力简短描述： P-7可以对nm-µm级台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达150mm而无需图像拼接
产品名称：台阶仪品牌：KLA型号：Alpha-Step D-300/500关键词标签：探针式轮廓仪、表面粗糙度、台阶仪简短描述：测量20nm到1000um的台阶高度、粗糙度、应力。
产品名称：探针式轮廓仪品牌：KLA型号：Tencor P-17/P17OF关键词标签：台阶仪、轮廓仪、表面粗糙度、简短描述：P-17支持台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，单次扫描高达200mm，无需图像拼接测量。
